光学微电子工程净化解决方案
组合式空气处理机组冷水机组高效送风出口
这是最传统的洁净空调系统设计方案。组合式空气处理装置中有各种功能段，如混合段、一次过滤段、表面冷却段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中间过滤段、风机段等。它的冷源由冷水机提供。
方案特征：
A.建议集中处理后新风与回风混合，以减轻表面冷却段的冷处理负担；
C.这种方案一般适用于洁净度较高的洁净无尘工厂，如100级、10000级或10000级。
净化方案2:
水冷器增压空气柜高效供气出口
与前一种方案相比，这是一种相对简单的空调方案。它可以大大减少机房的面积，水冷器可以根据具体情况设置在较小的机房或净化车间，增压风机柜也可以设置在机房内或挂在机房内或夹层内。
方案特征：
该方案可以是一次回风，也可以是二次回风，具体取决于车间的规模；这种方案一般适用于洁净度为1000、10000和100000的洁净无尘工厂。
净化方案3:
分体式空调柜的FFU送风口
这是最简单的空调方案。分体式空调机柜直接安装在车间内，用彩钢封闭，然后在机柜回风口的彩钢板上打开回风口(带初级过滤网)；KLC FFU风机过滤单元均匀布置在吊顶上。该方案适用于对室内温湿度精度要求较低的无尘车间。
方案特征：
A.无尘车间的清洁度：液晶显示屏制作的简单流程是：清洗印刷取向膜摩擦密封印刷层和涂垫片组合划线和切割液晶注入粘贴偏振片屏幕制作和最终检验。
温度和湿度要求：温度一般为242，相对湿度为555%。
C.大量新鲜空气
d、供气量大
| 等级 | 等级说明及车间应用 |
| 1级 | 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精确要求为亚微米 |
| 10级 | 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业 |
| 100级 | 很多人认为，这百级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于，植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗 |
| 1000级 | 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等 |
| 10000级 | 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用 |
| 100000级 | 十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这百级无尘车间 |
洁净室（区）空气洁净级别表
| 洁净度级别 | 尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物最大允许数浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
| 100级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000级 | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000级 | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000级 | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数
| 换气次数： | 100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次 | 压差： | 主车间对相邻房间≥5Pa |
| 平均风速： | 10级、100级0.3－0.5m/s | 温度： | 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃ 温度45－65％ GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜 电子车间湿度略高以免产生静电 |
需要净化区域一般包括：
1、洁净生产区
2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
结构材料：
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
光学微电子净化工程又称超净间和超净间，是目前半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、基板制造与生化、压电石英药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。 近年来，随着技术的革新发展，对产品的高精度化、微细小型化的需求更为迫切，超大型IC集成电路的研究制造等，已成为世界各国极为重视科学技术发展的项目工程。
光学微电子净化工程一般包括：
1、洁净生产区
2、洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）
3、管理区（包括办公、值班、管理和休息等）
4、设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房）
光学微电子净化工程结构材料：
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
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